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低温等离子体实验室

等离子体是包含自由电子和自由带电离子的一种物质状态,被称为物质的第四态(固液气为三种基本状态)。低温等离子体是指带电粒子能量在几个eV量级的等离子体,这种情况下发生的反应主要是自由电子与价电子参与,不涉及核反应与X射线。

低温等离子体广泛应用于刻蚀芯片、表面处理等工业生产,并在空间助推器等高科技领域发挥重要作用。

本实验室主要针对容性耦合等离子体(CCP)和感性耦合等离子体(ICP)进行诊断分析,包括光谱诊断、探针测量、表面分析、离子能量分析等手段,对电子温度、电子密度、激发态粒子数密度等一系列等离子体参数和其他参量进行测量分析。


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离子质量能量测量系统


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