工物论坛与沙龙
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日本庆应义塾大学教授真壁利明先生访问我系并做客第358期“工物学术论坛”
发布时间:2019-12-11

12月9日,日本庆应义塾大学教授真壁利明(Toshiaki Makabe)先生应邀访问我系并做客第358期“工物学术论坛”。真壁利明教授作了题为“非平衡态射频放电等离子体(Nonequilibrium radio-frequency plasma)”的学术报告。本次学术论坛由我系技术物理所李和平副教授主持,来自我系及北京、天津地区等离子体科学技术领域同行20多名师生参加。

射频电源驱动的非平衡态等离子体自上世纪七、八十年代以来得到了快速发展,为推动全球信息技术的发展提供了新的等离子体技术。目前,各国研究人员正在努力推动这种低温等离子体源在小型化、环境友好、高效率和高精度方面的理论与技术的突破。真壁利明教授介绍了有关非平衡态射频等离子体中非平衡电子输运机制的最新研究进展,并同与会师生进行了深入的学术交流与讨论。

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